塑料過濾器在電子工業行業的應用

塑料過濾器，尤其是以聚丙烯（PP）、聚醚砜（PES）、聚四氟乙烯（PTFE）等材質制成的過濾器，在電子工業中扮演著至關重要的角色。電子行業對生產環境的潔凈度和原材料的純度要求極高，塑料過濾器憑借其高精度過濾、化學穩定性、耐高溫性、低成本等優勢，廣泛應用于以下關鍵環節：

一、超純水制備與處理

1. 反滲透（RO）與超濾（UF）系統預處理：

○ 在半導體、晶圓制造、液晶顯示器（LCD）生產中，超純水是核心原料。PP折疊濾芯或熔噴濾芯作為RO和UF系統的前置過濾器，攔截水中的懸浮顆粒、膠體、微生物等雜質，保護后續膜元件不被堵塞，延長RO膜使用壽命。

2. 去離子水（DI水）系統：

○ 通過PP過濾器去除DI水中的殘余微粒和有機物，確保水質電阻率達標（如18.2 MΩ·cm），避免雜質影響芯片電路精度和器件性能。

3. 化學藥液配送系統（CDS）過濾：

○ 在光刻、蝕刻等工藝中，過濾化學藥液（如硫酸、氫氟酸、氨水）中的微粒，防止藥液污染導致晶圓缺陷。

二、工藝氣體凈化

1. 高純氣體過濾：

○ 電子級氮氣、氬氣、氫氣等需通過PTFE或PES材質的過濾器去除微粒和油霧，確保氣體純度，避免污染半導體制造設備（如擴散爐、刻蝕機）。

2. 壓縮空氣處理：

○ 在潔凈室中，壓縮空氣需經過多級過濾（包括PP濾芯）去除水分、油分和微粒，保障生產環境潔凈度（ISO Class 1-9）。

三、清洗與蝕刻工藝

1. 晶圓清洗液過濾：

○ 在濕法清洗工藝中，使用高精度PP或PES濾芯過濾清洗劑（如SC-1、SC-2溶液），去除殘留的顆粒和金屬離子，確保晶圓表面潔凈。

2. 蝕刻液循環過濾：

○ 過濾蝕刻廢液中的殘渣，實現蝕刻液的回收再利用，降低生產成本并符合環保要求。

四、廢氣處理與環境保護

1. 工藝廢氣凈化：

○ 在化學氣相沉積（CVD）、物理氣相沉積（PVD）等工藝中，PP袋式過濾器用于攔截廢氣中的酸性氣體、金屬粉塵、硅粉等污染物，滿足環保排放標準。

2. 酸霧與有機廢氣處理：

○ 通過PP材質的洗滌塔過濾器處理酸霧（VOCs），保護排放系統不被腐蝕，同時凈化廢氣。

五、關鍵優勢與技術要求

1. 高過濾精度：提供0.1μm至50μm的過濾精度，滿足半導體制造中對納米級顆粒的控制需求。

2. 化學相容性：PP、PES、PTFE材質耐強酸、強堿及有機溶劑，適應電子工業嚴苛的化學環境。

3. 耐高溫性：部分過濾器可耐受80℃以上高溫，適用于高溫工藝場景（如晶圓烘烤）。

4. 低析出與無污染：材質符合半導體級潔凈標準，無金屬離子析出，避免二次污染。

5. 可驗證性：支持完整性測試（如起泡點測試），確保過濾器性能穩定可靠，符合SEMI行業標準。

六、應用案例

● 在8英寸或12英寸晶圓廠中，PP濾芯作為預處理單元，保護昂貴的超純水系統；

● LCD面板生產線中，使用PES折疊濾芯過濾光刻膠顯影液，防止顆粒缺陷。

總結：塑料過濾器是電子工業實現高純度生產環境、保障產品質量的核心組件。其應用貫穿超純水制備、工藝氣體凈化、化學品處理及廢氣治理等環節，通過高效攔截微粒與雜質，降低制程污染風險，助力半導體、面板等高精尖產業的穩定運行與技術創新。隨著電子元件向微型化發展，塑料過濾器的高精度與可靠性將成為行業持續升級的關鍵支撐。