在線式氣體過濾器

產品描述 Description

在線式氣體過濾器，專為超高純度氣體過濾應用而設計。過濾器采用2層PTFE濾膜，對干燥氣體的過濾精度達到0.003m。獨特的結構設計，即使在高流量情況下，仍能保持較低的壓力損失。

另外，該過濾器具有優秀的化學兼容性，適用于所有種類的半導體制程氣體，特別推薦用于惰性氣體和反應性氣體。

產品特點Features &Benefits

• 316L不銹鋼電解拋光殼體

• 全氟內芯

• 優秀的化學兼容性

• 結構緊湊，易于安裝

• 耐受高溫、高壓工作環境

• 潔凈室制作、包裝

• 100%完整性測試

• 100%氮氣泄露檢測

• SemiF20超純不銹鋼殼體(可選)

主要特點

典型應用

材料結構

主要性能參數

工作條件

濾芯訂購信息