半導體在線式氣體過濾器

產品描述 Description

Kinda FiltrationXL在線式氣體過濾器專門針對半導體氣體過濾而設計。過濾器采用2層PTFE濾膜，對干燥氣體的過濾精度達到0.003um。高純度全氟聚合物內芯，提供了優秀的化學兼容性，適合關鍵半導體工藝氣體應用。推薦用于半導體制程惰性氣體、特殊氣體過濾。獨特的過濾器結構設計，在更高的流量時，仍具有較低的壓力損失。

產品特點 Features & Benefits

• 316L不銹鋼電解拋光殼體結構緊湊，易于安裝

• 全氟內件

• 優秀的化學兼容性

• 耐受高溫、高壓工作環境

• 潔凈室制作、包裝

• 100%完整性測試

• 100%氦氣泄露檢測

• SemiF20超純不銹鋼殼體(可選)

主要特點

典型應用

材料結構

主要性能參數

工作條件

濾芯訂購信息